OPC по подписке

Возможно ли работать в MS с группой OPC в режиме подписки на изменения?

Режим подписки, иначе говоря, режим "По изменению" - это режим MasterSCADA используемый по умолчанию.
Есть еще полный опрос.
Или вас что-то другое интересует?

А тогда что означает параметр "Опрос изменений"? Насколько я помню, в режиме ADVISE сам OPC сервер сообщает об изменениях в группе.

OPC сервер сообщить не может - потому как клиентов может быть несколько.
ОРС сервер выставляет флаг, что значение изменилось, ОРС клиент читает этот флаг, а затем опрашивает изменившийся тег. Примерно так.