Экземпляры создаются так:

Код:
_rVar_OPC_read1: Real_Word; // экземпляр 1
_rVar_OPC_read2: Real_Word; // экземпляр 2
_rVar_OPC_read3: Real_Word; // экземпляр 3
Далее по аналогии с примером, для каждой REAL переменной вам понадобится в Modbus Slave привязать два WORD от нужного экземпляра.