Так трудно сказать. Пришлите полный лог.
Для этого в свойствах сервера включите запись журнала и всех его событий, размер лога задайте равным 10000. Запустите режим исполнения и воспроизведите ошибку. Лог пишется в папку:
c:\ProgramData\InSAT\MasterOPC Universal Modbus Server\SERVERLOGS\
Лог заархивируйте и вышлите нам, также пришлите вашу конфигурацию ОРС сервера.