Может
надо сначала запросить
byte slaveID = 1;
ushort startAddress = 0;
ushort numOfPoints = 5;
ushort[] registers = master.ReadHoldingRegisters(slaveID, startAddress, numOfPoints); // и здесь
а потом брать данные ?
master.ReturnQueryData(1, 0); // вот здесь выдает исключение