Может
надо сначала запросить

byte slaveID = 1;
ushort startAddress = 0;
ushort numOfPoints = 5;
ushort[] registers = master.ReadHoldingRegisters(slaveID, startAddress, numOfPoints); // и здесь


а потом брать данные ?

master.ReturnQueryData(1, 0); // вот здесь выдает исключение