При подключении modbus орс в мастер скада не видны никакие созданные приборы и переменные кроме переменной статус. В самом сервере всё работает.
Одновременно в скада подключен овен opc - может в этом дело?
Решилось - Не тот сервер подключал. В системе видны OWEN MODBUS OPC и OWEN beta opc - второй правильный, первый не знаю откуда возник.