Скада его сама запустит, когда подключится к нему.
Но режим разработки MasterOPC в этот момент должен быть закрыт - иначе он не запустится. То есть если вы разрабатывали конфигурацию, то вам сначала нужно закрыть ОРС сервер, а уже потом запускать MasterSCADA в режим исполнения.